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1、主導半導體設備整機/關鍵復雜部件的污染控制（如顆粒污染、化學污染、材料釋氣等）的指標分解、方案設計及測試驗證，設計相關的測試裝備及測試驗證方法，對整機系統的污染指標整體負責； 2、制定主動/被動抑制真空系統內顆粒物傳輸、化學物吸附與釋放的設計方案，確保設備整機/關鍵部件始終滿足超潔凈管控要求； 3、從事精密設備中微環境控制以及真空系統設計，保證設備中關鍵區域的溫度、壓力、污染等關鍵環境指標的達成，實現精密設備中的超潔凈真空與精密環境控制； 4、負責真空與環控領域的平臺能力建設，開展行業技術趨勢分析、技術合作以及參加相關行業標準會議等工作，并能夠針對工作中的成果進行相關規范、數據庫、專利等平臺能力交付。