1. 負責新 CMP 設備的安裝、調試和驗收,確保設備達到工藝要求。
2. 負責 4 寸晶圓上介電材料和金屬等材料的CMP工藝開發,包括工藝參數優化、dishing控制和缺陷控制等。
3. 分析 CMP 工藝數據,識別和解決工藝問題,提高工藝穩定性和良率。
4. 編寫和維護 CMP 工藝相關文件,包括工藝規范、操作指導書等。
5. 與設備供應商、研發團隊和其他部門合作,推動 CMP 工藝技術發展。
6. 參與新工藝、新材料的評估和導入。
任職資格
1. 本科及以上學歷,材料、化學、物理、微電子等相關專業。
2. 3年以上 CMP 工藝開發經驗,熟悉 CMP 原理和工藝。
3. 具備新設備調試經驗,能夠獨立完成設備安調試和驗收。
4. 具備良好的數據分析能力和問題解決能力。