一、崗位職責
1. 設計與開發:
(1)根據半導體設備(如刻蝕機、CVD、PVD、離子注入機等)的具體工藝需求和真空腔室要求,設計新型真空閥門(如閘板閥、角閥、擺閥、隔膜閥等)或改進現有設計。
(2)進行詳細的機械設計,包括結構設計、運動機構設計、密封設計(金屬密封、彈性體密封)、材料選擇(需考慮超高真空兼容性、耐腐蝕性、低放氣性、無磁性等)。
(3) 利用CAD軟件(如SolidWorks, Creo, CATIA, NX)進行3D建模和2D工程圖紙繪制。
(4)進行公差分析、應力分析(靜力學、動力學)、熱變形分析、模態分析等,確保設計的可靠性和性能。
(5) 設計或選擇與閥門配套的驅動機構(氣動、電動、壓電等)、反饋傳感器(位置、力)和連接部件。
2. 分析與仿真:
(1)運用有限元分析工具進行結構強度、剛度、疲勞壽命、熱應力、振動等仿真分析。
(2) 進行流體動力學分析,優化閥門流導、減少氣流擾動和顆粒產生。
(3) 參與或主導閥門開關動態特性(速度、沖擊、平穩性)的仿真與優化。
3. 原型制造與測試:
(1)與供應商或內部制造團隊協作,確保原型零件和組件的精密加工符合圖紙和規范要求。
(2) 搭建測試平臺,制定詳細的測試計劃(包括功能測試、性能測試、壽命測試、環境測試)。
(3) 執行真空閥門的關鍵性能測試:真空性能、密封性能、運動性能、耐久性/壽命、循環壽命測試等。
4. 工藝與制造支持:將設計成功轉移到量產階段,制定詳細的生產工藝規范和質量控制標準;解決量產過程中出現的機械設計、裝配、測試相關的技術問題;優化設計以提高可制造性、降低成本、提升良率; 審核供應商的制造能力和質量控制流程。
5. 跨職能協作與問題解決:
(1)與電氣工程師協作,設計或優化閥門驅動和控制系統。
(2)與工藝工程師緊密合作,理解工藝需求對閥門性能的具體要求(如快速響應、高密封性、低顆粒產生、耐等離子體腐蝕)。
(3)與系統工程師、應用工程師合作,將閥門集成到整機設備中,解決系統層面的接口和性能問題。
(4) 為生產、客戶支持和現場服務團隊提供技術支持,快速有效地解決閥門相關的故障和客戶投訴,進行根本原因分析。
6. 文檔與規范:
(1)編寫和維護設計規范、測試報告、失效模式與影響分析、操作維護手冊等技術文檔。
(2)確保設計符合相關的行業標準(如SEMI標準)和客戶特定要求。
(3) 管理設計變更流程。
7. 技術創新與改進:
(1)跟蹤行業技術發展趨勢(新材料、新結構、新驅動技術、新密封技術等)。
(2)識別現有產品的性能瓶頸或成本優化機會,提出并推動創新解決方案。
(3) 參與專利申請和技術評審。
二、崗位職責
1. 學歷與專業: 碩士及以上學歷,主修機械工程、精密儀器、機電一體化、材料科學與工程或相關專業; 扎實的工程力學(靜力學、動力學、材料力學)、機械原理、機械設計、公差分析基礎。
2. CAD精通:熟練使用至少一款主流3D CAD軟件(SolidWorks, Creo (Pro/E), CATIA, NX),能獨立完成復雜裝配體設計和工程圖紙輸出(含GD&T)。 3.CAE基礎:掌握有限元分析(FEA)原理,有使用ANSYS, Abaqus, COMSOL或類似工具進行結構應力、熱變形、模態分析的經驗。
4.機械設計能力: 精通傳動機構、運動學設計、密封結構(金屬/彈性體)、軸承選型、材料選擇與熱處理工藝。
5.真空技術基礎:理解真空基礎理論(氣體分子運動論、流導計算、抽速); 熟悉超高真空(UHV)環境(通常要求 ≤10?? Pa)對材料和設計的特殊要求(低放氣、耐烘烤);了解常用真空泵、真空計及氦質譜檢漏儀原理與操作(能解讀泄漏率數據)。
4. 材料知識: 熟悉超高真空兼容材料特性(如不銹鋼316L、無氧銅、鋁合金、陶瓷、特種聚合物如PEEK、Vespel、Kalrez等);了解材料放氣率、耐腐蝕性(針對Cl?, HBr, CF?等蝕刻氣體)、無磁性、熱膨脹系數匹配等關鍵屬性。
5.必須會日語,能夠與日本團隊溝通無阻。
6. 經驗要求:3-5年以上精密機械設計、真空設備或半導體設備關鍵部件開發經驗; 有**閥門類產品(尤其是真空閥) 或高精度運動機構的設計、測試、量產經驗者優先。
7.能夠接受出差。