一、設備設計與開發
1、主導半導體特氣/化學品輸送系統(如Gas Cabinet、VMB/VMP、Liquid Delivery System)及輔助設備(閥門、管道、傳感器等)的機械結構、流體系統設計。
2、使用CAD工具(SolidWorks、AutoCAD)完成3D建模、工程圖紙輸出,并確保符合SEMI、ASME、CE等國際標準。
3、針對高純度、高腐蝕性介質(如HF、Cl?、SiH?)進行材料兼容性分析,選擇耐腐蝕材料(如EP級不銹鋼、哈氏合金)和對應的閥門等設計。
二、工藝安全與合規
1、設計需滿足SEMI S2/S8、NFPA、OSHA等安全規范,集成泄漏檢測、緊急切斷(ESD)、尾氣處理(Scrubber)等安全功能。
2、參與HAZOP(危險與可操作性分析)及FMEA(失效模式分析),優化設備可靠性。
三、跨部門協作
1、與工藝工程師、廠務團隊合作,確保設備與Fab廠潔凈室(Class 1-100)兼容,規避振動、微粒污染風險。
2、支持采購部門、項目部門評估供應商(如APTECH、WIKA)零部件技術規格,主導關鍵部件(如調壓閥、隔膜閥、質量流量計)的選型驗證。
四、測試與驗證
1、制定設備FAT(工廠驗收測試)、SAT(現場驗收測試)方案,確保氦檢漏率<1×10?? Pa·m3/s等級。
2、分析設備在極端條件(高溫、高壓、高真空)下的性能數據,優化設計參數。
五、技術文檔與標準
1、編制BOM(物料清單)、設計規格書、維護手冊,確保文檔符合ISO 9001/14001體系要求。
2、研究并應用新興技術(如數據模型、數據分析、氣體使用量分析)提升設備智能化水平以及標準化水平。
六、完成上級交辦的其他工作